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产品性能：
1、高精度、高重复性
采用针孔，共聚焦光学系统、高稳定性结构设计、优异的3D重建算法组成测量系统保证测量精度高；
2、一体化操作的测量分析软件
1）测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能;
2） 可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程;
3）结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程;
4）几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全;
5）一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能;
6） 可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。
技术参数：
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测量原理 |
针孔共聚焦光学系统 |
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显微物镜 |
10x,20x,50x,100x |
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视场范围 |
120x120㎛~1.2x1.2 mm |
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扫描帧率 |
≥4HZ |
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高度测量 |
重复性*1 |
20nm |
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精度*1 |
±(0.2+L/100)㎛ |
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显示分辨率 |
0.5nm |
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宽度测量 |
重复性*2 |
40nm |
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精度*2 |
2% |
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显示分辨率 |
Inm |
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XY位移平台 |
尺寸 |
200×200mm |
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移动范围 |
100×100mm |
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负载 |
10kg |
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控制方式 |
电动 |
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Z0轴扫指 |
范围 |
10mm |
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Z0轴扫描步长 |
20nm-150nm |
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Z向移动范围 |
100mm |
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物镜塔台 |
5孔电动 |
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光源 |
白光LED |
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外形尺寸 |
540*379*594mm |
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总重量 |
45kg |
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工作电源 |
AC 220V/50HZ |
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工作环境 |
温度10°C~35°C,温度梯度＜1°C/15分钟，湿度30-80%振动＜0.002g,低于15Hz |
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